SK hynix zet euv-machines in voor massaproductie 10nm klasse Lpddr4-geheugen

De Zuid-Koreaanse geheugenfabrikant SK hynix is begonnen met de massaproductie van Lpddr4 met euv-machines. Het bedrijf produceert zijn vierde generatie 10nm-klasse dram, ook bekend als 1anm, met extreem ultraviolette lithografie.

SK hynix schrijft dat het momenteel euv-machines inzet voor zijn nieuwe Lpddr4-modules . Deze chips hebben een capaciteit van 8Gbit en een snelheid van 4266Mbit/s. De modules zouden tot 20 procent minder stroom verbruiken in vergelijking met de vorige Lpddr4-chips. Met de nieuwe 1anm-generatie verwacht het bedrijf ook dat het aantal dram-chips dat op een enkele wafer kan worden geproduceerd met 25 procent zal toenemen.

Volgens het bedrijf wordt de eerste van deze nieuwe EUV-geheugenchips in de tweede helft van dit jaar geleverd aan smartphonefabrikanten. De Zuid-Koreaanse geheugenmaker zegt ook euv te gaan gebruiken voor al zijn toekomstige dram-producten. Zo zal het bedrijf begin volgend jaar zijn 10nm-klasse 1anm-proces met euv inzetten voor de productie van DDR5-geheugen.

SK hynix gebruikte al gedeeltelijk euv-lithografie bij de productie van zijn tweede generatie 10nm-node. Dit is echter de eerste volledige inzet van euv-apparatuur van het bedrijf voor de massaproductie van dram. SK hynix is niet de enige geheugenfabrikant die euv gebruikt voor geheugenproductie; Samsung is daar vorig jaar mee begonnen. Naar verwachting volgt in 2024 het Amerikaanse Micron, schrijft The Register . De chipfabrikanten gebruiken euv-machines van het Nederlandse ASML. Dat is de enige fabrikant die dergelijke machines kan maken.